高能电子衍射(RHEED)数据采集与图像处理系统
RHEED被用于原位实时监控原子尺度的层状外延生长,不仅使用直观、方便,而且提高了测量准确性。是高精密制膜设备对原子尺度外延生长进行实时监控的重要手段。为了实时监控外延生长过程,我部承担研制了高能电子衍射仪衍射图象、强度振荡的CCD数据采集和图像处理系统。CCD图像系统的主要功能:
①.图象采集:
- 实时显示屏上任意选择自己感兴趣的图象,以数码形式进行存储。并可回读,
再显示。
- 象画面上在X方向和Y方向有滑动移动线可给出X或Y方向选定位置的二维光强
度曲线。
②.光强度振荡记录:
在计算机显示器上连续显示其在选定的能标志振荡特征的光点强度振荡曲线,此曲线数据可储存,并可在ORIGIN等其它绘图软件中读出。
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RHEED强度振荡曲线
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X方向光强度曲线图 |
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RHEED强度振荡曲线 |
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