用于高能电子衍射(RHEED)的高压电源
主要技术参数:
1、 高压电源:-25KV连续可调 电压稳定ΔV/V<5×10-4 / 30分钟
2、 灯丝电流:0—3.5A连续可调
3、 栅极电压:0—-300V连续可调
4、 偏转达电压:0—±200V连续可调
5、 束流:100μA
主要功能及应用范围:
-25KV电子枪电源是与长焦距电子配套使用,合称为反射式高能电子衍射仪(RHEED)。该衍射仪是激光分子束外延生长设备(LMBE)不可缺少的监控仪器。主要用来研究LMBE生长过程中样品表面再构、粗糙度、台阶和小面等无序情况。同时配合RHEED强度振荡检测系统,还可作日常生长中的束流校准,合金组份的控制,量子阱和超晶格厚度的测量,生长温度的控制等。
其优点是:
1、 增加了手控盒。使栅压和偏传电压,可以在荧光屏前进行控制,方便了衍射图象的调整。
2、 去掉了非常笨重和麻烦的高压油箱由机箱内高压盒代替。方便了高压电源的调试及维修,更换元件不再与高压油箱打交道了。
3、 在不影响束斑的亮度及衍射图象清晰度的情况下,将高压从―30KV降到―25KV。其直接好处是减少了样品表面的损伤。
4、增加了安全保护系统。各路都有短路可恢复性保护。
 |
RHEED高压电源 |
|