扫描马达驱动器及相关控制硬、软件
可在手动控制、计算机控制两种工作方式下独立工作。 主要技术参数:
应用范围: 适用于激光分子束外延设备、PLD激光淀积控制系统等需要具有X、Y二维独立可 调的面扫描和光束方向调节的设备上。